Keithley 4200-SCS型半導體特性分析系統-凯发国际

4200-SCS系統是用于器件、材料和半導體工藝電氣特性分析的完整解決方案。這種先進的參數凯发国际官网首页具有無可比擬的測量靈敏
度和精度，同時集成了嵌入式Windows操作系統和吉時利交互式測試環境Interactive Test Environment，為用戶進行半導體器件特性分析提供了直觀而高級的功能。它是一套功能強大的單機解決方案。要想獲取某種器件或材料的特性參數，需要三種基本的電氣測量技術。4200-SCS提供了這三種功能：

● 精密直流電流-電壓（I-V）測量是實現器件電氣特性分析的基礎。
● 交流阻抗，包括大家熟知的電容-電壓（C-V）技術，能夠提供直流測量本身無法提供的器件特性。
● 脈沖和瞬態測試增加了一個時域維度，支持器件的動態特性分析。4200-SCS采用了模塊化、可配置、可升級的架構。這使得它能夠準確滿足當前的測量需求，并通過擴展滿足后期的需求。它的9個儀器插槽可以混合配置4種核心測量模塊。
● 多達9個精密直流源-測量單元能夠提供和測量0.1fA到1A的電壓，或者1μV到210V的電壓。
● 利用4210-CVU（C-V模塊）可以方便的在1kHz到10MHz測試頻率下進行交流阻抗測試。可以測量的電容范圍從aF級到μF級。
● 利用4225-PMU超快I-V模塊可以進行脈沖和瞬態測量。該模塊具有兩個獨立的電壓源，能夠以1V/ns的步幅調整電壓，輸出同時測量電壓和電流。當安裝了多個模塊時，它們內部同步的精度小于3ns。
● 選擇兩種不同的數字凯发国际模塊能夠方便而高效地生成數字波形。