4200-SCS型半導體特性分析系統

發表日期:2016/11/15 瀏覽次數:


測試數據以業界標準的電子表格格式進行存儲。所有測量或計算的數據都可以用KITE最先進的繪圖工具繪制出來。

應用

對各種器件進行精密直流I-V測量,例如:

l CMOS MOSFET和器件

l 雙極型器件

l 二極管和pn

l 太陽能電池

l 納米器件

l 幾乎可想到所有其他材料和器件

4210 CVU C V 儀器提供了所有商用 C-V 測量解決方案中最全面的 C-V 測試和分析庫。它支持:

l 下列器件的C-V C-t C-f 測量與分析:

- 太陽能電池,包括 DLCP

- K 和低 K 結構

- MOSFET

- BJT

- 二極管

- III-V族化合物器件

- 碳納米管( CNT )器件

l 摻雜濃度,Tox和載流子壽命測試

l 半導體結、器件管腳到管腳以及連接線電容測量。

4225-PMU超快 I-V 模塊能夠實現的脈沖式和瞬態測試范例包括:

l 超快通用I-V測量

l 脈沖式I-V和瞬態 I-V 測量

l Flash PCRAM 和其他一些非易失性存儲器測試

l 中功率器件的等溫測試

l 特殊CMOS的器件分析,例如高 K 介質的測試

l NBTI/PBTI可靠性測試

多測量線纜

吉時利提供了唯一一套支持I-V C-V 和超快 I-V 信號的探測線纜套件。利用這些高性能線纜套件進行直流 I-V C-V 和超快 I-V 測試時,在從一種類型測量變為另一種時不需要重新布線,從而簡化了配置之間的切換過程。這種設計已申請專利,對于每次測試改變連接線纜不需要抬起探針。使用這些三軸線纜可以幫助用戶:

l 每當需要一種新型的測量時,避免從測試儀器到探測臺重新進行連線,從而節省了時間。

l 防止在難度較大的線纜連接過程中經常出現的錯誤,從而防止了錯誤連線所造成的測量誤差。

l 在配置改變的同時探針保持與晶圓的接觸,減少了晶圓pad損壞。這也使得用戶在每類測量下都能夠保持相同的接觸阻抗。

進一步簡化

利用吉時利的4225-RPM遠程放大器 / 開關在 I-V C-V 和超快 I-V 測量之間進行切換時,用戶不需要在機箱內壁重新連線。機箱內所有的儀器連接都接入開關,自動實現目標測試模塊到探針之間的連接。


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